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摘要:
本发明公开了一种硅粉流延制备氮化硅陶瓷基板的方法,属于绝缘基板技术领域。本发明以硅粉和无机助烧添加剂为原料,以蓖麻油为分散剂,以聚乙烯醇缩丁醛为粘接剂,根据硅粉表面的化学状态和颗粒尺寸,加入有利于硅粉流延成型的增塑剂,制备出厚度可调、表面光滑、无裂纹以及无气孔的大面积生坯,将生坯经排胶后,通过高温烧结制备出热导率大于50W·m‑1·K‑1,抗弯强度大于600MPa,断裂韧性大于8MPa·m1/2的氮化硅陶瓷基板。
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