本申请属于陶瓷技术领域，具体涉及一种Si3N4陶瓷及其制备方法。本发明提供的Si3N4陶瓷包括：硅粉、氮化催化剂和烧结助剂；硅粉经氮化催化剂氮化处理后生成Si3N4，氮化催化剂与硅粉的质量比为(1～20):(80～99)；氮化催化剂选自ZrO2、TiO2或Eu2O3；烧结助剂为MgO和Re2O3，Re选自Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb或Lu。制备时，依次进行配料混合、制粒、形成陶瓷浆料，再依次光固化成型、脱脂、氮化处理和高温烧结，即可。因而，本申请技术方案通过利用硅粉氮化体积膨胀对样品收缩进行补偿，实现了复杂形状氮化硅陶瓷净尺寸成型，原材料来源广，制备成本低，方法简便。