一种Micro-LED巨量转移方法及转移装置
一种Micro-LED巨量转移方法及转移装置

申请号:

2020103021645
参考价格:面议

客服热线:

020-32502944

摘要:

本发明公开了一种Micro‑LED巨量转移方法及转移装置,包括下述步骤:转移准备:透光基板放置在目标衬底的上方;选择对齐:对齐透光基板的待释放晶片的位置与目标衬底的待接收晶片的位置;光照释放:启动光源,光源发出光束,光束输入空间光调制器,控制器输出信号至空间光调制器,空间光调制器生成实时数字掩膜,空间光调制器将接收的光束转变成光斑阵列并输出至透光基板,光斑阵列作用在光敏粘结层使其降低粘附作用,待释放晶片落至目标衬底的对应位置;持续释放;本发明旨在提供一种Micro‑LED巨量转移方法及转移装置,实现透光基板的晶片的有效释放,避免常规激光加热剥离方法对晶片或透光基板产生不利的热影响。

详细介绍

本发明公开了一种Micro‑LED巨量转移方法及转移装置,包括下述步骤:转移准备:透光基板放置在目标衬底的上方;选择对齐:对齐透光基板的待释放晶片的位置与目标衬底的待接收晶片的位置;光照释放:启动光源,光源发出光束,光束输入空间光调制器,控制器输出信号至空间光调制器,空间光调制器生成实时数字掩膜,空间光调制器将接收的光束转变成光斑阵列并输出至透光基板,光斑阵列作用在光敏粘结层使其降低粘附作用,待释放晶片落至目标衬底的对应位置;持续释放;本发明旨在提供一种Micro‑LED巨量转移方法及转移装置,实现透光基板的晶片的有效释放,避免常规激光加热剥离方法对晶片或透光基板产生不利的热影响。


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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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