一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台
一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台

申请号:

2020213362764
参考价格:面议

客服热线:

020-32502944

摘要:


 一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台,包括中心移动平台、固定机构、桥式微位移放大机构、柔性移动副与压电陶瓷;固定机构设于相邻桥式微位移放大机构之间,关于中心移动平台的正负X轴与Y轴对称;桥式微位移放大机构对称设于中心移动平台正负X轴与Y轴上,包括两第一纵梁、两第二纵梁以及多个横梁;两第一纵梁平行间距分布;两第二纵梁间距设于两第一纵梁之间且通过横梁连接第一纵梁;横梁通过柔性移动副连接各纵梁;压电陶瓷设于两第一纵梁的输入端之间;靠近中心移动平台的第二纵梁设有输出端;输出端通过柔性移动副连接中心移动平台与固定机构。本申请提供的解耦微定位平台能够在Micro LED芯片修复过程中,对缺陷位置进行精准定位。

详细介绍

 一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台,包括中心移动平台、固定机构、桥式微位移放大机构、柔性移动副与压电陶瓷;固定机构设于相邻桥式微位移放大机构之间,关于中心移动平台的正负X轴与Y轴对称;桥式微位移放大机构对称设于中心移动平台正负X轴与Y轴上,包括两第一纵梁、两第二纵梁以及多个横梁;两第一纵梁平行间距分布;两第二纵梁间距设于两第一纵梁之间且通过横梁连接第一纵梁;横梁通过柔性移动副连接各纵梁;压电陶瓷设于两第一纵梁的输入端之间;靠近中心移动平台的第二纵梁设有输出端;输出端通过柔性移动副连接中心移动平台与固定机构。本申请提供的解耦微定位平台能够在Micro LED芯片修复过程中,对缺陷位置进行精准定位。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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