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本发明涉及一种氧化铝陶瓷及其制备方法和等离子体刻蚀设备。该氧化铝陶瓷的制备方法包括如下步骤：将有机单体、交联剂和分散剂加水混合，并调节pH值至9～10，得到预配液；将纳米氧化铝粉、微米氧化铝粉和抑制晶粒长大剂加入到预配液中，经混合，得到固相的体积百分含量为45～55％、粘度低于1Pa·s的陶瓷浆料；在陶瓷浆料中加入催化剂和引发剂，经凝胶化，得到湿坯；将湿坯干燥，再经烧结，得到氧化铝陶瓷。上述氧化铝陶瓷的制备方法制备得到的氧化铝陶瓷具有较好的耐等离子体腐蚀性能。
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