本发明涉及一种含氟聚酰亚胺湿敏电容及其制备方法，所述湿敏电容由基片、下电极、含氟感湿聚酰亚胺涂层和上电极组成；其中，含氟感湿聚酰亚胺由2,2‑双(3‑氨基‑4‑羟基苯基)六氟丙烷、芳香族二胺与芳香族二酐反应而成。制备方法包括：用清洗液清洗基片后，放入干燥箱中烘干，干燥，随后真空蒸镀制作下电极，JP‑6导电胶引下电极引线，再旋涂含氟感湿聚酰亚胺前驱体溶液，亚胺化，真空蒸镀制作上电极，切片，去离子水冲洗，干燥，筛选，表面修饰，JP‑6导电胶引上电极引线，制得含氟聚酰亚胺湿敏电容。本发明具有灵敏度高、湿滞小、制造工艺简单、成本低等优点，具有良好的市场化前景。