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本发明涉及反应性高功率脉冲溅射工艺的控制。提供了一种用于控制所述工艺的方法，在所述方法中测量受控参数并且基于所测量的受控参数来改变可调节参数，从而将受控参数调节至预定的设定值，其特征在于，通过放电的脉冲频率变化来改变作为可调节参数的放电功率。
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