广州市新材料产业知识产权运营平台
申请号：
客服热线：
摘要：
本发明提供了一种化学气相沉积系统，所述系统包括：用于容纳至少一个样品的工艺管，所述工艺管由碳化硅构造而成，用硅浸渍并涂布有碳化硅；将所述工艺管抽成高真空的抽吸系统；用于将一种或更多种工艺气体引入到抽空的工艺管中的一个或更多个气体入口；和加热器，以加热工艺管并由此加热工艺管内的所述一种或更多种工艺气体和所述至少一个样品以使材料通过化学气相沉积沉积到工艺管内的所述至少一个样品上。
详细介绍
专利交易的流程
服务保障
用户评论
在线咨询