旋转式射频磁控溅射法制备无裂纹多层高阻隔复合包装薄膜，它涉及复合包装薄膜的制备方法。它要解决现有氧化硅薄膜存在脆性裂纹而致使阻隔性能和耐用性能差的问题。本发明制备方法：一、将经过超声清洗和电晕处理后的塑料基材放入真空室；二、基材卷绕在滚筒上固定，调节真空系统；三、通入Ar气，调节工作气压，滚筒带动基材旋转；四、开启射频电源，先预溅射SiO2陶瓷靶和环氧树脂靶，然后打开挡板，交替沉积环氧树脂膜层与SiO2陶瓷膜层，完成高阻隔包装薄膜的制备。本发明制备的包装薄膜经往复折叠100次后，透过性能劣化在10%以下，显示了良好的耐用性和阻隔性。主要应用于食品、精密机械零配件、电子零件和医药仪器的包装。