一种X射线反射镜表面镀膜的方法，它涉及X射线反射镜表面镀膜的方法，本发明要解决现有X射线反射镜表面镀膜的方法中存在膜层间界面粗糙度大的问题以及膜层间存在混合与扩散的问题。本发明中一种X射线反射镜表面镀膜的方法按以下步骤进行：一、玻璃基底的清洗；二、玻璃基底的加热及保温，对基底表面进行反溅清洗；三、向基底表面镀钛膜；四、对钛膜表面进行反溅溅射；五、向钛膜表面镀碳膜；六、对碳膜表面进行反溅溅射；七、关闭电源，降温至室温，完成X射线表面膜层的制备。本发明方法适用于薄膜工程领域。

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