一种利用磁控溅射法制备固体氧化物燃料电池纳米薄膜阴极的方法，本发明涉及固体氧化物燃料电池纳米薄膜阴极的制备方法。本发明要解决现有固体氧化物电池粉末阴极材料在700℃以下电催化活性低，极化电阻高的问题。方法：一、制备溅射薄膜用的La0.8Sr0.2MnO3靶材；二、制备溅射薄膜用的钇稳定氧化锆基底；三、放置钇稳定氧化锆基底和La0.8Sr0.2MnO3靶材；四、制备薄膜；五、制备La0.8Sr0.2MnO3纳米薄膜阴极。本发明方法制备的纳米阴极薄膜材料在500-700℃温度范围内极化电阻低，电化学性能高，纳米薄膜阴极的极化过电位低。本发明主要用于固体氧化物燃料电池纳米薄膜阴极的制备。