一种二硼化锆涂层的制备方法
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申请号:

2014100052896
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摘要:

一种二硼化锆涂层的制备方法,它涉及一种陶瓷涂层的制备方法。本发明是要解决现有化学气相沉积法制备ZrB2过程中,采用先将ZrCl4加热到升华温度以上,然后再经过流量计通入反应室的方法需要对气路进行保温处理,而且对气体流量计要求很高的问题。制备方法:使用双温区加热方式,以ZrCl4、BCl3和H2作为源气体、Ar气或N2作为载气和保护性气体,采用化学气相沉积法制备二硼化锆涂层。采用本发明的方法不需要对气路进行专门保温处理,ZrCl4流量的控制可以通过控制温度的方法来实现。本发明可用于制备二硼化锆涂层。

详细介绍

一种二硼化锆涂层的制备方法,它涉及一种陶瓷涂层的制备方法。本发明是要解决现有化学气相沉积法制备ZrB2过程中,采用先将ZrCl4加热到升华温度以上,然后再经过流量计通入反应室的方法需要对气路进行保温处理,而且对气体流量计要求很高的问题。制备方法:使用双温区加热方式,以ZrCl4、BCl3和H2作为源气体、Ar气或N2作为载气和保护性气体,采用化学气相沉积法制备二硼化锆涂层。采用本发明的方法不需要对气路进行专门保温处理,ZrCl4流量的控制可以通过控制温度的方法来实现。本发明可用于制备二硼化锆涂层。


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用户评论

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2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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