本发明提供了一种衬底预处理设备，包括衬底预处理室和自动控制系统。在本发明提供的衬底预处理设备中，真空系统控制模块、气体流量控制模块、电源控制模块、衬底平台控制模块和传送交接模块等各模块通过收集衬底预处理室内各项参数信号，并将各项参数信号发送给控制总机，所述控制总机根据预设的各项参数对收到的各项参数信号进行处理得到反馈信号，并将该反馈信号反馈给相应的控制模块，相应的控制模块再根据相应的反馈信号对相应的部件，如抽真空设备、进气装置、衬底平台等进行自动调控，实现衬底预处理的自动控制，不仅节省了大量人力，更重要的是能够实现对衬底预处理过程的有效监测，从而能够实现衬底预处理精度、品质和速度的提高。