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本发明公开了一种柔性衬底ZnS薄膜的制备方法，它采用在柔性衬底材料上采用先磁控溅射沉积金属Zn薄膜，再进行硫化处理的方法制备ZnS薄膜，具体步骤如下：选用金属Zn靶作为溅射靶材；对柔性衬底材料进行清洗；利用磁控溅射方法，在柔性衬底上沉积金属Zn薄膜；在硫气氛中对制备的金属Zn薄膜进行硫化处理，使Zn薄膜与硫反应生成柔性衬底ZnS薄膜；本发明适用于不同类型的柔性衬底材料，具有工艺简单、能够有效调节薄膜的组分、成本低廉、适用于大规模生产等优点。
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