一种用于轴承内外套圈批量处理的离子注入方法
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申请号:

2014105832678
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摘要:

一种用于轴承内外套圈批量处理的离子注入方法,本发明涉及离子注入批量处理轴承内外套圈的方法,它为了解决现有采用全方位离子注入法处理内外套圈效率低的问题。离子注入方法:一、清洗轴承内套圈;二、轴承内套圈置于双轴式对滚轮之间,相邻轴承内套圈彼此之间紧密接触,打开高压脉冲电源进行溅射清洗;三、向真空室中通入N2气,进行N离子注入;四、清洗轴承外套圈;五、轴承外套圈置于双轴式对滚轮之间,相邻轴承外套圈之间留有间隙,打开高压脉冲电源进行溅射清洗;六、向真空室中通入N2,进行N离子注入处理。通过本发明轴承内外套圈批量处理方法得到的轴承内外套圈剂量分布均匀,一次性处理数量多,提高了离子注入的效率。

详细介绍

一种用于轴承内外套圈批量处理的离子注入方法,本发明涉及离子注入批量处理轴承内外套圈的方法,它为了解决现有采用全方位离子注入法处理内外套圈效率低的问题。离子注入方法:一、清洗轴承内套圈;二、轴承内套圈置于双轴式对滚轮之间,相邻轴承内套圈彼此之间紧密接触,打开高压脉冲电源进行溅射清洗;三、向真空室中通入N2气,进行N离子注入;四、清洗轴承外套圈;五、轴承外套圈置于双轴式对滚轮之间,相邻轴承外套圈之间留有间隙,打开高压脉冲电源进行溅射清洗;六、向真空室中通入N2,进行N离子注入处理。通过本发明轴承内外套圈批量处理方法得到的轴承内外套圈剂量分布均匀,一次性处理数量多,提高了离子注入的效率。


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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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