本发明公开了一种ZnO薄膜材料、声表面波滤波器复合薄膜材料及制备方法，ZnO薄膜材料是在该ZnO薄膜中掺杂有锂和钒，构成LixVyZn（1‑x‑y）O压电薄膜。声表面波滤波器用复合薄膜材料，从下到上依次由Si衬底、UNCD膜层、LixVyZn（1‑x‑y）O压电薄膜层、IDT换能器Al/Ti薄膜层构成，LixVyZn（1‑x‑y）O压电薄膜层厚度为250 nm～600nm。本发明大大提高了ZnO薄膜电阻率及其压电性，压电薄膜的电阻率为108Ω.cm～109Ω.cm，从而降低了SAW器件插入损耗，插入损耗可降低6.1dB左右。提升了SAW压电材料的声速，从而提高了SAW器件工作频率。