一种高光生电流Pb(Zr0.52‑x，Cox，Ti0.48)O3‑δ薄膜的制备方法，本发明涉及一种铁电薄膜材料的制备方法，它为了解决现有锆钛酸铅薄膜光生电流小、光电转换能力低的问题。制备薄膜的方法：一、称取原料；二、将原料醋酸铅、钛酸四丁酯，丙醇锆和硝酸钴溶于乙二醇甲醚中，制备得到前驱体溶胶；三、前驱体溶胶滴在衬底上，经过多次滴胶－甩膜－预烧的过程，得到非晶态薄膜；四、非晶态薄膜置于退火炉中进行退火处理，完成此铁电薄膜的制备。本发明采用掺杂过渡元素Co的方法，提高了光生电流值，该Pb(Zr0.52‑x，Cox，Ti0.48)O3‑δ薄膜最大的光生电流可达2×10‑2uA。