一种氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法
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申请号:

2015104155256
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摘要:

一种氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法,本发明涉及氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法。本发明要解决现有VO2薄膜红外透过率低和耐候性差的问题。方法:一、清洗;二、镀膜前准备工作;三、镀制VO2薄膜;四、退火;五、镀制SiO2薄膜;六、关机,即完成氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法。本发明用于氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法。

详细介绍

一种氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法,本发明涉及氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法。本发明要解决现有VO2薄膜红外透过率低和耐候性差的问题。方法:一、清洗;二、镀膜前准备工作;三、镀制VO2薄膜;四、退火;五、镀制SiO2薄膜;六、关机,即完成氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法。本发明用于氧化硅红外增透氧化钒薄膜的制备方法。


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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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