本发明公开了一种热作模具表面电弧等离子体辅助低压渗氮方法。首先利用电弧增强辉光放电产生的Ar+对热作模具表面进行离子刻蚀，去除材料表面的氧化物。而后炉内连续通入一定流量高纯N2、高纯H2、以及高纯Ar，保持炉内温度（300‑600℃）和气压（0.2‑1.0 Pa）恒定，工件转平台接脉冲电源负极，进行等离子渗氮。2h渗氮渗层深度在15‑40μm，渗氮层中化合物层厚度0‑3μm，硬度1000‑1300 HV0.1，脆性等级小于1级，疏松级别小于1级。此外，通过氩离子有效、实时地轰击活化工件表面，以达到增加氮原子扩散通道，加速渗氮过程，最终得到高强度高韧性的渗氮表层。