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热氧化Zn3N2：III族元素制备p‑型氧化锌的方法，涉及一种制备p‑型氧化锌的方法。本发明是为了解决现有的p‑型氧化锌掺杂时存在自补偿效应、受主的固溶率低、受主在氧化锌中不稳定的技术问题。本发明：一、清洗衬底；二、磁控溅射沉积制备Zn3N2：III族元素薄膜：三、热氧化Zn3N2：III族元素薄膜。本发明通过氧化Zn3N2：III族元素的方法得到了p‑型氧化锌，并且在800℃下退火仍然保持p‑型，甚至在900℃高温下，氧化锌的导电特性仍为p‑型导电，提高了p‑型氧化锌的热稳定性。
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