本发明属于太阳能利用技术领域,具体公开了一种耐高温多层太阳能选择性吸收涂层及其制备方法。该吸收涂层由三层结构组成,顶层为Cr2O3减反层,中间层为氧含量渐变结构的CrAlON吸收层,底层为CrAlSiN红外反射层;其中,吸收层CrAlON成分如下:Cr:30~36 at.%,Al:14~20 at.%,O:12~28at.%,N:22~38 at.%,氧含量由内到外逐渐增多;红外反射层CrAlSiN成分如下:Cr:13~21 at.%,Al:30~40 at.%,Si:6~10at.%,N:32~40 at.%。该涂层体系的顶层Cr2O3、中间层氧含量渐变结构的CrAlON涂层、底层CrAlSiN涂层均具有良好的高温硬度以及抗高温氧化性。本发明所述涂层具有吸收率高、发射率低、结合强度高、高温稳定性好的优点,并且在高达550℃时仍具有良好的光谱选择性吸收性能。