一种氮化铝陶瓷基板的镀膜方法
一种氮化铝陶瓷基板的镀膜方法

申请号:

2015109708477
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摘要:

本发明公开了一种氮化铝陶瓷基板的镀膜方法,包括步骤:S1,对待加工的氮化铝陶瓷基板进行清洗;S2,清洗完成之后,在氮化铝陶瓷基板上电镀一层渐变的TiAlN金属化合物膜层或者NiAlN金属化合物膜层;S3,在镀好的TiAlN金属化合物膜层上镀TiCu合金膜层;S4,在镀好的TiCu合金膜层上镀Cu金属膜层,完成陶瓷基板的镀膜操作。本发明提高金属与氮化铝陶瓷基板的结合力外,还可以减少工序中引入的热阻层,从而提高封装基板的导热和散热性能。

详细介绍

本发明公开了一种氮化铝陶瓷基板的镀膜方法,包括步骤:S1,对待加工的氮化铝陶瓷基板进行清洗;S2,清洗完成之后,在氮化铝陶瓷基板上电镀一层渐变的TiAlN金属化合物膜层或者NiAlN金属化合物膜层;S3,在镀好的TiAlN金属化合物膜层上镀TiCu合金膜层;S4,在镀好的TiCu合金膜层上镀Cu金属膜层,完成陶瓷基板的镀膜操作。本发明提高金属与氮化铝陶瓷基板的结合力外,还可以减少工序中引入的热阻层,从而提高封装基板的导热和散热性能。


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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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