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摘要:
本发明涉及玻璃基板的多层镀膜的技术领域,更具体地,涉及一种手机面板多层镀膜层及其制备方法。本发明提供了一种在玻璃基板上制备高透、耐磨的多层膜技术,其中具体包括玻璃基板,氧化镁多晶种子层,氧化铝高硬耐磨镀膜层,氧化钛/氧化铝叠层增透层;本发明1)采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术可大面积,均匀成膜,2)通过多晶缓冲层设计,在较低成膜温度下外延生长微晶非晶混合结构的高硬氧化铝镀膜;3)通过氧化铝/氧化钛/氧化铝叠层增加透过率。
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