镁合金表面低应力疏水复合TiSiCN薄膜的制备方法，涉及一种复合TiSiCN薄膜的制备方法。本发明是要解决现有镁合金表面硬度较低，不耐磨，易腐蚀的问题。方法：一、镁合金基体的前处理；二、镀膜前准备；三、制备二元TiSi过渡缓冲层；四、制备氮化物中间层；五、制备TiSiCN盖面层；六、将制备好的复合薄膜进行真空退火处理，得到致密均匀‑低应力‑疏水‑耐蚀性的复合TiSiCN薄膜。本方法将直流、射频和线圈结合应用在磁控溅射技术中，三者协同作用，相互取长补短，互相促进，磁控溅射持续稳定，制备的薄膜致密均匀，效果得到显著提高。本发明用于制备复合TiSiCN薄膜。