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本发明公开了一种全透明BZT薄膜变容管及其制备方法,制备方法包括以下步骤:(1)固相烧结法合成BaZr0.2Ti0.8O3靶材;(2)衬底送料;(3)磁控溅射系统调节;(4)磁控溅射合成BaZr0.2Ti0.8O3薄膜;(5)降温取样;(6)涂光刻胶;(7)烘干处理;(8)曝光、显影与后烘;(9)溅射镀膜;(10)退火处理。本发明的新型全透明BZT薄膜变容管的制备方法具有透明性高、调谐率适中、器件稳定性好和成本低廉的特点。
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