本发明提供了一种化学气相沉积系统，包括：化学沉积室；所述化学沉积室包括反应腔体；设置与化学沉积室外的高温加热装置；与化学沉积室相连通的气体供给系统；所述气体供给系统包括气体源进气管与固体源气体进气管，所述固体源气体进气管位于气体源进气管的管内；所述固体源气体进气管的出口与所述化学沉积室的反应腔体相连通；所述气体源进气管的出口与所述化学沉积室的反应腔体相连通；与化学沉积室的反应腔体相连通的真空系统。与现有技术相比，本发明将固体源气体进气管与气体源气体进气管分开，使固体源气体完全不受气体源气体的影响，从而实现对固体源气体的控制。