本发明提供了一种齿轮表面真空感应加热扩渗方法，将待处理齿轮工件放置于反应装置内腔的工作台上，真空装置进行抽真空；粉末原料从进料斗进入内腔，经过滤装置筛选进入过滤装置下面的反应容器中；感应线圈通电后加热，使齿轮工件温度升高符合热扩渗工艺要求，进行表面热扩渗处理反应。本发明的热扩渗方法，由于在真空条件下加热工件，所以被加热渗入涂层的工件表面不会氧化，不脱碳，表面光亮，质量好；粉末配方可以根据需要调整，气氛可控；可单独或者连续进料，接触面积大，反应均匀，效率高；利用感应加热，可使工件迅速加热，节约工时。