一种二氧化锡复合涂层及其制备方法
一种二氧化锡复合涂层及其制备方法

申请号:

2017105335151
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摘要:

本发明提供了一种二氧化锡复合涂层及其制备方法,所述二氧化锡复合涂层的制备方法包括以下步骤:a)将二氧化锡和石墨烯混合,依次进行等静压成型和烧结,得到石墨烯/SnO2复合陶瓷靶材;b)将步骤a)得到的石墨烯/SnO2复合陶瓷靶材进行磁控溅射,得到二氧化锡复合涂层。与现有技术相比,本发明采用石墨烯对二氧化锡进行掺杂改性,通过控制制备工艺及参数条件,提高石墨烯的掺杂率、减少杂质,并且制备得到的二氧化锡复合涂层厚度均匀,对气敏材料性能的提升有重要意义。实验结果表明,本发明制备得到了石墨烯掺杂的二氧化锡复合涂层,掺杂率高且杂质少;所述二氧化锡复合涂层的厚度均匀,为1μm~5μm。

详细介绍

本发明提供了一种二氧化锡复合涂层及其制备方法,所述二氧化锡复合涂层的制备方法包括以下步骤:a)将二氧化锡和石墨烯混合,依次进行等静压成型和烧结,得到石墨烯/SnO2复合陶瓷靶材;b)将步骤a)得到的石墨烯/SnO2复合陶瓷靶材进行磁控溅射,得到二氧化锡复合涂层。与现有技术相比,本发明采用石墨烯对二氧化锡进行掺杂改性,通过控制制备工艺及参数条件,提高石墨烯的掺杂率、减少杂质,并且制备得到的二氧化锡复合涂层厚度均匀,对气敏材料性能的提升有重要意义。实验结果表明,本发明制备得到了石墨烯掺杂的二氧化锡复合涂层,掺杂率高且杂质少;所述二氧化锡复合涂层的厚度均匀,为1μm~5μm。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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