一种AlCrSiVN纳米复合涂层及其制备方法
一种AlCrSiVN纳米复合涂层及其制备方法

申请号:

2017110384016
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摘要:

本发明提供了一种AlCrSiVN纳米复合涂层的制备方法,包括以下步骤:a)在基体表面使用阴极电弧蒸发沉积CrN过渡层;b)使用高功率脉冲磁控电源溅射V靶,使用直流电弧电源阴极蒸发AlCrSi靶,共沉积AlCrSiVN纳米复合涂层。与现有技术相比,本发明通过拟耦合使用电弧离子镀膜技术及高功率脉冲磁控溅射技术制备得到了AlCrSiVN纳米复合涂层,利用纳米复合结构阻止V元素高温下的快速外扩散行为、增强涂层高温力学性能及抗高温抗氧化能力、抑制高温下钛与涂层之间的扩散反应,并且通过纳米复合结构与掺杂V元素的协同作用,使AlCrSiVN纳米复合涂层表面兼具抗高温氧化、致密性、自润性以及高耐磨特性,从而最终获得具有纳米复合结构、结合力优良且高温下耐磨减摩的AlCrSiVN纳米复合涂层。

详细介绍

本发明提供了一种AlCrSiVN纳米复合涂层的制备方法,包括以下步骤:a)在基体表面使用阴极电弧蒸发沉积CrN过渡层;b)使用高功率脉冲磁控电源溅射V靶,使用直流电弧电源阴极蒸发AlCrSi靶,共沉积AlCrSiVN纳米复合涂层。与现有技术相比,本发明通过拟耦合使用电弧离子镀膜技术及高功率脉冲磁控溅射技术制备得到了AlCrSiVN纳米复合涂层,利用纳米复合结构阻止V元素高温下的快速外扩散行为、增强涂层高温力学性能及抗高温抗氧化能力、抑制高温下钛与涂层之间的扩散反应,并且通过纳米复合结构与掺杂V元素的协同作用,使AlCrSiVN纳米复合涂层表面兼具抗高温氧化、致密性、自润性以及高耐磨特性,从而最终获得具有纳米复合结构、结合力优良且高温下耐磨减摩的AlCrSiVN纳米复合涂层。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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