本发明提供了一种AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层的制备方法，包括以下步骤：a)在基体表面使用阴极电弧蒸发沉积Al50Cr50N过渡层；b)使用高功率脉冲磁控电源溅射VSi靶，使用直流电弧电源阴极蒸发AlCrSi靶，在Ar气与N2气的混合气氛中反应沉积AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层。本发明通过拟耦合使用电弧离子镀膜技术及高功率脉冲磁控溅射技术，利用纳米多层结构、纳米复合结构阻止V元素高温下的快速外扩散行为、增强涂层高温力学性能及抗高温抗氧化能力、抑制高温下钛与涂层之间的扩散反应，并且通过纳米多层、纳米复合结构与掺杂V元素的协同作用，使得AlCrSiN/VSiN涂层表面兼具抗高温氧化、自润性以及高耐磨特性，从而最终获得具有纳米多层结构、结合力优良且耐高温、自润滑的AlCrSiN/VSiN纳米多层涂层。