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本发明具体涉及一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法，相比于现有技术，利用了掺杂Ga的溶胶A在热处理的过程中不易与空气中成分发生作用，使得溶胶A能够在衬底上生长透明均匀的薄膜层作为掺铝氧化锌薄膜层的缓冲层，透明度高，而且在掺杂有Ga的薄膜中，晶体的晶格常数更加接近于纤锌矿ZnO的晶格常数，因此能有效减小晶格失配效应，起到很好的晶格缓冲作用，制备光电性能更为优越的掺铝氧化锌透明导电薄膜。
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