一种中红外透明导电P型氧化物薄膜材料
一种中红外透明导电P型氧化物薄膜材料

申请号:

2018101988628
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摘要:

一种中红外透明导电P型氧化物薄膜材料,它涉及一种P型导电氧化物薄膜材料。本发明是要解决现有的P型透明氧化物薄膜导电性较差、载流子浓度较低以及中波红外透过率低的技术问题。本发明的中红外透明导电P型氧化物薄膜材料的化学式为La2SexOy,其中x为3~4,y为9~11。本发明的制备方法:一、靶材和衬底的清洗;二、La2O3薄膜的制备;三、掺杂Se。本发明制备的P型透明导电氧化物薄膜的光学带隙约为4.0eV,空穴有效质量小于电子的有效质量,具有较高的载流子浓度和电导率,中波红外光区的透过率约为70%,透过性能较为良好。

详细介绍

一种中红外透明导电P型氧化物薄膜材料,它涉及一种P型导电氧化物薄膜材料。本发明是要解决现有的P型透明氧化物薄膜导电性较差、载流子浓度较低以及中波红外透过率低的技术问题。本发明的中红外透明导电P型氧化物薄膜材料的化学式为La2SexOy,其中x为3~4,y为9~11。本发明的制备方法:一、靶材和衬底的清洗;二、La2O3薄膜的制备;三、掺杂Se。本发明制备的P型透明导电氧化物薄膜的光学带隙约为4.0eV,空穴有效质量小于电子的有效质量,具有较高的载流子浓度和电导率,中波红外光区的透过率约为70%,透过性能较为良好。


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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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