一种高硬度和高耐磨的TiAlN/W2N多层涂层及其制备方法
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申请号:

201810249865X
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摘要:

本发明公开了一种高硬度和高耐磨的TiAlN/W2N多层涂层及其制备方法。该TiAlN/W2N多层涂层是利用多靶先后溅射的方式,沉积TiN过渡层以及交替溅射沉积TiAlN层和W2N层在基体上,靠近基体的两层依次为TiN过渡层和TiAlN层,最上层为W2N层。所述TiAlN/W2N多层涂层总厚度为2.5~3.5μm,每一层TiAlN层的厚度50~210 nm,每一层W2N涂层的厚度40~160 nm,总的周期层数为10~50层。其制备方法包括清洗基体、沉积TiN过渡层和交替溅射沉积TiAlN及W2N层。该TiAlN/W2N多层涂层的硬度高、耐磨性能好,涂层单层厚度容易控制且可控范围大,工艺简单。

详细介绍

本发明公开了一种高硬度和高耐磨的TiAlN/W2N多层涂层及其制备方法。该TiAlN/W2N多层涂层是利用多靶先后溅射的方式,沉积TiN过渡层以及交替溅射沉积TiAlN层和W2N层在基体上,靠近基体的两层依次为TiN过渡层和TiAlN层,最上层为W2N层。所述TiAlN/W2N多层涂层总厚度为2.5~3.5μm,每一层TiAlN层的厚度50~210 nm,每一层W2N涂层的厚度40~160 nm,总的周期层数为10~50层。其制备方法包括清洗基体、沉积TiN过渡层和交替溅射沉积TiAlN及W2N层。该TiAlN/W2N多层涂层的硬度高、耐磨性能好,涂层单层厚度容易控制且可控范围大,工艺简单。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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