本发明属于氮化物涂层的技术领域,尤其涉及一种多孔CrN涂层及其制备方法和一种超级电容器。本发明将基体的表面沉积得到CrN过渡层后,在CrN过渡层的表面,使用双金属靶材,或合金靶材,沉积CrMeN涂层,其中,双金属靶材包括金属靶材Cr和金属靶材Me,合金靶材为CrxMe(1‑x),x为0‑1的正数,Me为金属元素单质,金属元素单质为Ni或Ag,再利用稀酸剥离CrMeN涂层中相对不耐腐蚀的Me金属,形成具有孔洞结构的CrN涂层。本发明能有效解决目前氮化物基涂层在超级电容器电极应用中还存在其孔隙率低,比表面积小以及稳定性差等技术缺陷。