一种硬质合金表面磁控溅射复合技术沉积W-N硬质膜的方法
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申请号:

2018108498795
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摘要:

本发明公开了一种硬质合金表面磁控溅射复合技术沉积W‑N硬质膜的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗,然后对其表面进行离子清洗与刻蚀,而后在硬质合金表面沉积致密W‑N硬质膜过渡层,接着在过渡层上原位沉积W‑N硬质膜。本发明利用电弧增强辉光放电技术清洁基体表面,大幅度提高膜基结合力,其次在基体表面利用高功率脉冲磁控溅射技术沉积一层致密的W‑N硬质膜过渡层,进一步增强硬质膜结合强度,同时充当良好的热屏障和化学屏障。最终制备出摩擦性能优异、硬度高、表面平整、化学稳定性良好的W‑N硬质膜,有效提高硬质合金工件的综合性能和使用寿命。该硬质膜制备可控,制备方法简单,节能环保,易于实施,适合推广应用。

详细介绍

本发明公开了一种硬质合金表面磁控溅射复合技术沉积W‑N硬质膜的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗,然后对其表面进行离子清洗与刻蚀,而后在硬质合金表面沉积致密W‑N硬质膜过渡层,接着在过渡层上原位沉积W‑N硬质膜。本发明利用电弧增强辉光放电技术清洁基体表面,大幅度提高膜基结合力,其次在基体表面利用高功率脉冲磁控溅射技术沉积一层致密的W‑N硬质膜过渡层,进一步增强硬质膜结合强度,同时充当良好的热屏障和化学屏障。最终制备出摩擦性能优异、硬度高、表面平整、化学稳定性良好的W‑N硬质膜,有效提高硬质合金工件的综合性能和使用寿命。该硬质膜制备可控,制备方法简单,节能环保,易于实施,适合推广应用。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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