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本发明公开了一种氮掺杂的高附着性高硬度纳米结构W基涂层及其制备方法,该纳米结构W基涂层中各元素原子百分比为:N:1%~6%;W:94%~99%,该涂层采用高功率脉冲磁控溅射技术制备,适用于硬质合金刀具表面。通过掺杂小原子N元素,调控涂层晶粒尺寸大小和缺陷数量,得到硬质合金上附着性强、硬度高的纳米结构W基涂层。
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