一种磁控溅射镀膜阴极结构
一种磁控溅射镀膜阴极结构

申请号:

201811082185X
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摘要:

本发明公开了一种磁控溅射镀膜阴极结构,包括依次层叠的靶材结构、背板和磁性部件;磁性部件包括第一磁场产生结构和第二磁场产生结构,第一磁场产生结构为环形磁场结构,第二磁场产生结构位于环形磁场结构的中心区域,第一磁场产生结构和第二磁场产生结构形成一环形磁场区域;其中,第一磁场产生结构包括第一铁芯以及缠绕在第一铁芯外表面的第一励磁线圈;第二磁场产生结构包括第二铁芯以及缠绕在第二铁芯外表面的第二励磁线圈,从而在磁性部件产生的磁场强度随着使用时间的延长而发生衰减时,通过调节第一励磁线圈和/或第二励磁线圈中的电流大小,来调节磁性部件产生的磁场强度,解决由于磁场强度会发生衰减而导致镀膜的质量下降的问题。

详细介绍

本发明公开了一种磁控溅射镀膜阴极结构,包括依次层叠的靶材结构、背板和磁性部件;磁性部件包括第一磁场产生结构和第二磁场产生结构,第一磁场产生结构为环形磁场结构,第二磁场产生结构位于环形磁场结构的中心区域,第一磁场产生结构和第二磁场产生结构形成一环形磁场区域;其中,第一磁场产生结构包括第一铁芯以及缠绕在第一铁芯外表面的第一励磁线圈;第二磁场产生结构包括第二铁芯以及缠绕在第二铁芯外表面的第二励磁线圈,从而在磁性部件产生的磁场强度随着使用时间的延长而发生衰减时,通过调节第一励磁线圈和/或第二励磁线圈中的电流大小,来调节磁性部件产生的磁场强度,解决由于磁场强度会发生衰减而导致镀膜的质量下降的问题。


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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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