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一种利用高能脉冲反应磁控溅射制备二氧化钒智能热控器件的方法，涉及一种制备二氧化钒智能热控器件的方法。目的是解决现有磁控溅射制备VO2智能热控器件的工艺存在制备温度高的问题。利用高能脉冲靶磁控溅射装置在基底表面沉积金属反射层，然后在金属反射层表面沉积VO2功能层，最后在VO2功能层表面沉积保护层。本发明将高能脉冲磁控溅射方法应用于VO2智能热控器件制备，优点是所需制备温度低，所需成本较低。本发明适用于制备二氧化钒智能热控器件。
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