一种中红外透明P型半导体薄膜的制备方法
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2018115731671
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摘要:

一种中红外透明P型半导体薄膜的制备方法,它涉及一种P型半导体薄膜的制备方法。本发明的目的是开发一种新型的P型中红外透明导电材料种类,解决现有LaSe2薄膜中红外透明导电薄膜制备困难,在中红外应用受到了极大地限制的技术问题。本发明:一、靶材和衬底的清洗;二、La2O3薄膜的制备;三、LaSe2薄膜的制备。本发明以单质Se粉末为Se源,利用真空封管处理,在硒化退火的条件下,Se蒸气可以将La2O3薄膜中的O置换出来的原理制备LaSe2薄膜,弥补了La与Se较高温度下不易反应的材料制备局限性。本发明制备的LaSe2薄膜具有较好的导电性能,中波红外光区的总透过率约为70%,透过性能较为良好。

详细介绍

一种中红外透明P型半导体薄膜的制备方法,它涉及一种P型半导体薄膜的制备方法。本发明的目的是开发一种新型的P型中红外透明导电材料种类,解决现有LaSe2薄膜中红外透明导电薄膜制备困难,在中红外应用受到了极大地限制的技术问题。本发明:一、靶材和衬底的清洗;二、La2O3薄膜的制备;三、LaSe2薄膜的制备。本发明以单质Se粉末为Se源,利用真空封管处理,在硒化退火的条件下,Se蒸气可以将La2O3薄膜中的O置换出来的原理制备LaSe2薄膜,弥补了La与Se较高温度下不易反应的材料制备局限性。本发明制备的LaSe2薄膜具有较好的导电性能,中波红外光区的总透过率约为70%,透过性能较为良好。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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