一种基于PVD技术的块体金属陶瓷/金属/金属陶瓷双向纳米梯度材料及其制备方法
一种基于PVD技术的块体金属陶瓷/金属/金属陶瓷双向纳米梯度材料及其制备方法

申请号:

2019100734582
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摘要:

本发明涉及一种基于PVD技术的块体金属陶瓷/金属/金属陶瓷双向纳米梯度材料及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤:S1:将基片设置于PVD设备转架上,控制靶材工作面与基片正对,且两者的距离为7~20 cm;S2:控制靶材电流密度为150~300 A,基体偏压为0~‑50V,沉积时间3~30 h,氮气压力按六阶段控制,依次沉积即得所纳米梯度材料。本发明通过优化靶材与基片之间的间距、靶材等核心工艺参数,使得基体负变压作用,实现了纳米梯度材料的制备;该纳米梯度材料从表层到心部硬度和应力呈现梯度变化规律特征,表层具有高硬度和耐磨性,心部具有优良的韧性,该材料具有优异的断裂韧性、承载能力及摩擦磨损性能。

详细介绍

本发明涉及一种基于PVD技术的块体金属陶瓷/金属/金属陶瓷双向纳米梯度材料及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤:S1:将基片设置于PVD设备转架上,控制靶材工作面与基片正对,且两者的距离为7~20 cm;S2:控制靶材电流密度为150~300 A,基体偏压为0~‑50V,沉积时间3~30 h,氮气压力按六阶段控制,依次沉积即得所纳米梯度材料。本发明通过优化靶材与基片之间的间距、靶材等核心工艺参数,使得基体负变压作用,实现了纳米梯度材料的制备;该纳米梯度材料从表层到心部硬度和应力呈现梯度变化规律特征,表层具有高硬度和耐磨性,心部具有优良的韧性,该材料具有优异的断裂韧性、承载能力及摩擦磨损性能。


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用户评论

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11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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