一种基于PVD技术的块体金属/金属陶瓷纳米梯度材料及其制备方法和应用
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申请号:

2019101906980
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摘要:

本发明涉及一种基于PVD技术的块体金属/金属陶瓷纳米梯度材料及其制备方法和应用。制备方法包括如下步骤:S1:将基片设置于PVD设备转架上,控制靶材工作面与基片正对,且两者的距离为7~50cm;S2:控制靶材电流密度、基体偏压、沉积时间和氮气压力依次沉积金属、金属陶瓷即得所述金属/金属陶瓷纳米材料。本发明选用非常规的PVD控制条件,优化靶材与基片之间的间距、靶材电流密度、基体偏压等核心工艺参数,使得基体负变压作用,实现不同成分和结构梯度材料的制备;制备得到的块体金属/金属陶瓷纳米梯度材料从从底层到表层,其硬度和应力呈现梯度变化规律特征,具有优异膜‑基结合力、承载能力、断裂韧性和摩擦磨损性能。

详细介绍

本发明涉及一种基于PVD技术的块体金属/金属陶瓷纳米梯度材料及其制备方法和应用。制备方法包括如下步骤:S1:将基片设置于PVD设备转架上,控制靶材工作面与基片正对,且两者的距离为7~50cm;S2:控制靶材电流密度、基体偏压、沉积时间和氮气压力依次沉积金属、金属陶瓷即得所述金属/金属陶瓷纳米材料。本发明选用非常规的PVD控制条件,优化靶材与基片之间的间距、靶材电流密度、基体偏压等核心工艺参数,使得基体负变压作用,实现不同成分和结构梯度材料的制备;制备得到的块体金属/金属陶瓷纳米梯度材料从从底层到表层,其硬度和应力呈现梯度变化规律特征,具有优异膜‑基结合力、承载能力、断裂韧性和摩擦磨损性能。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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