一种铝模芯表面制备致密铜防护层的方法,它属于惯性约束聚变靶制备领域,具体涉及一种高致密性铜防护层制备方法。本发明的目的是要解决现有铝模芯表面制备铜防护层存在不致密,且铜防护层与铝模芯结合力差的问题。一种铝模芯表面制备致密铜防护层的方法:一、铜靶预处理;二、铝模芯装配;三、真空加热除气处理及离子刻蚀清洗;四、磁控溅射沉积首镀铜层;五、原位热处理;六、刻蚀、沉积镀铜层;七、重复步骤六操作2次,得到铝铜复合芯轴。有益效果:表面粗糙度RMS<60nm,残余应力降低至58MPa±20MPa,在3mol/L的NaOH溶液中的耐腐蚀时间超过24h。本发明主要用于制备铝铜复合芯轴。