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本发明提供了一种锌镓氧材料薄膜，所述锌镓氧材料薄膜中锌与镓的原子比大于1:2，所述锌镓氧材料薄膜为尖晶石结构。锌和镓的原子比例与传统的1：2相比，镓原子的占比更低，当Zn和Ga的化学计量比发生变化时，在一定范围内形成ZnGaO材料仍然可以保持尖晶石的ZnGa2O4晶体结构。这种锌镓氧材料薄膜在不改变其他性能参数的前提下，有效缩短ZnGaO紫外探测器的响应时间。在光电器件的制备方面具有潜在的应用前景。并且，本发明提供的锌镓氧材料薄膜的制备工艺简单，反应过程容易控制。
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