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一种仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备方法，它属于智能热控涂层技术领域。本发明要解决现有基于VO2的智能热控器件发射率变化小，太阳吸收比高的问题。仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件自下而上依次由半导体基底层、红外高反射金属层、HfO2介质层、VO2层和保护层组成。制备方法：一、红外高反射金属层的制备；二、介质薄膜制备；三、VO2薄膜制备；四、微结构加工；五、保护层沉积。本发明用于仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备。
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