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本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，具体公开了一种铜锌锡硫薄膜的沉积装置，该装置是基于脉冲光化学的方法设计得到，包括源溶液供应装置、溶液混合装置、光化学反应装置和脉冲紫外光光源系统，所述脉冲紫外光光源系统位于光化学反应装置的上端；将沉积薄膜所需的溶液在溶液混合装置里进行混合，混合溶液进入光化学反应装置，脉冲紫外光的照射下即可在衬底上沉积铜锌锡硫薄膜。
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