本实用新型涉及一种紫外光化学水浴沉积法制备薄膜的装置。该装置包括源溶液供应装置、溶液混合装置、紫外光化学反应装置和紫外光光源系统，所述源溶液供应装置通过管道与溶液混合装置连通，所述溶液混合装置的出液口通过管道与紫外光化学反应装置的进液口连通，所述紫外光化学反应装置的出液口再通过回流管道与溶液混合装置的进液口连通，所述紫外光光源系统在紫外光化学反应装置上方。本实用新型装置结构简单，通过控制紫外光源光斑的位置和形状即可控制薄膜形状，通过光照时间控制薄膜厚度，反应溶液可以循环利用，材料利用率高，非常适合用于紫外光化学水浴法制备薄膜，利于制备得到无针孔、均匀一致的高质量薄膜，适合于规模化工业生产。