本实用新型涉及真空的技术领域，更具体地，涉及一种真空镀膜衬底高温加热装置。一种真空镀膜衬底高温加热装置，包括屏蔽盒、法兰、接线柱、热电偶、导电片、加热片夹具、加热片，热电偶、导电片、加热片夹具均置于屏蔽盒内；所述的法兰包括热电偶法兰和导电片法兰，所述的热电偶一端与热电偶法兰固定，另一端延伸到加热片上；接线柱设于热电偶法兰和导电片法兰上；导电片法兰上的接线柱连接导电片，导电片一侧设有加热片夹具，加热片夹具之间夹紧加热片；所述的屏蔽盒在两加热片夹具之间上方开有一个窗口。由于采用了屏蔽盒的设计并且加热导线之间距离较远，仅有加热片上的凹槽暴露在真空室内，有效防止了带电粒子在加热导线间放电而形成短路。