一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置
一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置

申请号:

201820947275X
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摘要:

一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置,它涉及一种升降装置。本实用新型解决现有磁控靶可调节的距离非常有限以及真空室内测量具体的靶基距非常不便的问题。所述手轮安装在支撑平台的上端面上,螺杆的上端穿过支撑平台与手轮固定连接,蜗杆的下端与螺杆的上端固接为一体,蜗杆与螺杆同轴设置,涡轮通过轴支座安装在支撑平台的上端面上,蜗杆与涡轮相互啮合,涡轮与蜗杆的齿数比u=20,涡轮的一侧壁上安装有涡轮盘,涡轮盘上沿其圆周方向均布划分有20个刻度格,涡轮的涡轮轴上设置有指针,指针的初始位置指在涡轮盘零点位置,螺杆的导程为5mm,手轮侧壁上沿其圆周方向均布刻有50个刻度格。本实用新型用于磁控溅射仪的靶基距定量调节。

详细介绍

一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置,它涉及一种升降装置。本实用新型解决现有磁控靶可调节的距离非常有限以及真空室内测量具体的靶基距非常不便的问题。所述手轮安装在支撑平台的上端面上,螺杆的上端穿过支撑平台与手轮固定连接,蜗杆的下端与螺杆的上端固接为一体,蜗杆与螺杆同轴设置,涡轮通过轴支座安装在支撑平台的上端面上,蜗杆与涡轮相互啮合,涡轮与蜗杆的齿数比u=20,涡轮的一侧壁上安装有涡轮盘,涡轮盘上沿其圆周方向均布划分有20个刻度格,涡轮的涡轮轴上设置有指针,指针的初始位置指在涡轮盘零点位置,螺杆的导程为5mm,手轮侧壁上沿其圆周方向均布刻有50个刻度格。本实用新型用于磁控溅射仪的靶基距定量调节。


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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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