一种磁控溅射实验仪上的样品台
一种磁控溅射实验仪上的样品台

申请号:

2018209473112
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摘要:

一种磁控溅射实验仪上的样品台,它涉及一种样品台。本实用新型解决了现有的磁控溅射实验仪上的样品台存在影响样品镀膜面积以及样品可调整范围小的问题。涡卷弹簧的内端固定在固定芯轴上,涡卷弹簧的外端与线盘连接,线盘上设置有两个卷线槽,线盘的每个卷线槽上逆时针缠绕有一根铜线,两根铜线均由卷线盒体穿出,两根铜线的穿出位置中心对称设置,样品台主体的两个对角加工有铜线限位槽,样品台主体的下端面上加工有两个定位制动槽,两个定位制动槽平行且相对设置在样品台主体的边缘,每个定位制动槽上设置有一个滑块,卷线盒体穿出的铜线穿过相应的铜线限位槽与相应的一个滑块固接。本实用新型用于磁控溅射实验仪上。

详细介绍

一种磁控溅射实验仪上的样品台,它涉及一种样品台。本实用新型解决了现有的磁控溅射实验仪上的样品台存在影响样品镀膜面积以及样品可调整范围小的问题。涡卷弹簧的内端固定在固定芯轴上,涡卷弹簧的外端与线盘连接,线盘上设置有两个卷线槽,线盘的每个卷线槽上逆时针缠绕有一根铜线,两根铜线均由卷线盒体穿出,两根铜线的穿出位置中心对称设置,样品台主体的两个对角加工有铜线限位槽,样品台主体的下端面上加工有两个定位制动槽,两个定位制动槽平行且相对设置在样品台主体的边缘,每个定位制动槽上设置有一个滑块,卷线盒体穿出的铜线穿过相应的铜线限位槽与相应的一个滑块固接。本实用新型用于磁控溅射实验仪上。


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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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