一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置
一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置

申请号:

201921464886X
参考价格:面议

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020-32502944

摘要:

本实用新型公开了一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置,管式加热炉的一端与第一密封仓密封连接,管式加热炉的另一端与第二密封仓密封连接;传动装置包括位于第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与第二卷绕辊连接的第二电机组;第一卷绕辊与第二卷绕辊一一对应,任一第一卷绕辊与对应的第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线。此时在管式加热炉内形成有多条气相沉积生长线,在工作时一个管式加热炉内有多条气相沉积生长线可以同时工作,从而有效提高沉积生长效率,使得气相沉积制备装置具有较高的沉积生长效率。

详细介绍

本实用新型公开了一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置,管式加热炉的一端与第一密封仓密封连接,管式加热炉的另一端与第二密封仓密封连接;传动装置包括位于第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与第二卷绕辊连接的第二电机组;第一卷绕辊与第二卷绕辊一一对应,任一第一卷绕辊与对应的第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线。此时在管式加热炉内形成有多条气相沉积生长线,在工作时一个管式加热炉内有多条气相沉积生长线可以同时工作,从而有效提高沉积生长效率,使得气相沉积制备装置具有较高的沉积生长效率。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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